TY  - CONF
AU  - D. Sadana
AU  - J. Lasky
AU  - H. Hovel
AU  - K. Petrillo
AU  - Peter Roitman
C2  - Proc.,  1994 IEEE SOI Conference, Nantucket, MA, USA
DA  - 1994-12-31 00:12:00
LA  - en
PB  - Proc.,  1994 IEEE SOI Conference, Nantucket, MA, USA
PY  - 1994
TI  - Nano-Defects In Commercial Bonded SOI and SIMOX
ER  -