TY  - CONF
AU  - Richard Allen
AU  - Michael Cresswell
AU  - Loren Linholm
AU  - Jinsheng Wen
AU  - Colleen Hood
AU  - T. Hill
AU  - J. Benecke
AU  - S. Volk
AU  - H. Stewart
C2  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, San Diego, CA, USA
DA  - 1994-12-31 00:12:00
LA  - en
M1  - 7
PB  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, San Diego, CA, USA
PY  - 1994
TI  - Application of the Modified Voltage-Dividing Potentiometer to Overlay Metrology in a CMOS/Bulk Process
ER  -