TY  - JOUR
AU  - Ronald Ono
AU  - James Beall
AU  - Leila Vale
AU  - David Rudman
AU  - S. Berkowitz
AU  - E. DeObaldia
AU  - M. Galloway
AU  - G. Morales
AU  - K. Ludwig
AU  - P. Mankiewich
AU  - W. Skocpol
C2  - IEEE Transactions on Applied Superconductivity
DA  - 1993-03-01 00:03:00
LA  - en
M1  - 3
PB  - IEEE Transactions on Applied Superconductivity
PY  - 1993
TI  - Etching and Annealing of Substrates for Superconducting Multilayers and Devices
ER  -