TY  - JOUR
AU  - Gene Hilton
AU  - James Beall
AU  - Steven Deiker
AU  - Joern Beyer
AU  - Leila Vale
AU  - Joel Ullom
AU  - Kent Irwin
C2  - IEEE Transactions on Applied Superconductivity
DA  - 2003-06-01 00:06:00
LA  - en
M1  - 13
PB  - IEEE Transactions on Applied Superconductivity
PY  - 2003
TI  - Surface Micromachining for Transition-Edge Detectors
ER  -