TY  - CONF
AU  - R Schlaf
AU  - Y Emirov
AU  - J Bieber
AU  - A Sikder
AU  - J Kohlscheen
AU  - D Walters
AU  - M Islam
AU  - B Metha
AU  - Z Ren
AU  - T Shofner
AU  - B Rossi
AU  - Michael Cresswell
C2  - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), Santa Clara, CA, USA
DA  - 2002-06-01 00:06:00
LA  - en
PB  - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), Santa Clara, CA, USA
PY  - 2002
TI  - Using Carbon Nanotube Cantilevers in Scanning Probe Metrology
ER  -