TY  - CONF
AU  - Richard Allen
AU  - Michael Cresswell
AU  - Christine Murabito
AU  - William Guthrie
AU  - Loren Linholm
AU  - Colleen Hood
AU  - E. Bogardus
C2  - Proc., 2002 ICMTS, Cork, 1, EI
DA  - 2002-04-08 00:04:00
LA  - en
PB  - Proc., 2002 ICMTS, Cork, 1, EI
PY  - 2002
TI  - Test Structures for Referencing Electronics Linewidth Measurements to Silicon Lattice Parameters Using HRTEM
ER  -