TY  - JOUR
AU  - Safak Sayan
AU  - Nhan Nguyen
AU  - James Ehrstein
AU  - Tom Emge
AU  - Eric Garfunkel
AU  - Mark Croft
AU  - Xinjian Zhou
AU  - David Vanderbilt
AU  - Igor Levin
AU  - Evgeni Gusev
AU  - Hyunjung Kim
AU  - P McIntyre
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2005-04-01 00:04:00
LA  - en
M1  - 86
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2005
TI  - Structural, Electronic, and Dielectric Properties of Ultrathin Zirconia Films on Silicon
ER  -