TY  - JOUR
AU  - James Ehrstein
AU  - Curt Richter
AU  - Deane Chandler-Horowitz
AU  - Eric Vogel
AU  - Chadwin Young
AU  - Shweta Shah
AU  - Dennis Maher
AU  - Brendan Foran
AU  - Alain Diebold
C2  - Journal of the Electrochemical Society
DA  - 2006-01-03 00:01:00
LA  - en
M1  - 153
PB  - Journal of the Electrochemical Society
PY  - 2006
TI  - A Comparison of Thickness Values for Very Thin SiO2 Films by Using Ellipsometric, Capacitance-Voltage and HRTEM Measurements
ER  -