TY  - CONF
AU  - Eyal Gerecht
AU  - V. Bhupathiraju
AU  - Erich Grossman
AU  - Jeffrey Nicholson
AU  - Fernando Rodriguez-Morales
AU  - Dazhen Gu
AU  - Sigfrid Yngvesson
C2  - Proc., Intl Symp. on Space Terahertz Tech., Cambridge, MA, USA
DA  - 2002-09-01 00:09:00
LA  - en
PB  - Proc., Intl Symp. on Space Terahertz Tech., Cambridge, MA, USA
PY  - 2002
TI  - NbN Film Development for PHEB Devices
ER  -