TY - CONF AU - Steven Deiker AU - James Chervenak AU - Gene Hilton AU - Martin Huber AU - Kent Irwin AU - John Martinis AU - Sae Nam AU - David Wollman C2 - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), San Diego, CA, USA DA - 2000-12-01 00:12:00 LA - en M1 - 4140 PB - Proc. Intl. Soc. for Optical Engineering (SPIE), San Diego, CA, USA PY - 2000 TI - Development of Arrays of TES X-ray Detectors ER -