TY - CONF AU - G. Campisi AU - Peter Roitman AU - David Simons AU - W. Krull C2 - Proc., 1991 IEEE International SOI Conference, Vail Valley, CO, USA DA - 1991-12-31 00:12:00 LA - en PB - Proc., 1991 IEEE International SOI Conference, Vail Valley, CO, USA PY - 1991 TI - A SIMS Study of the Deuterium Distribution in SIMOX Buried Oxides, Extended Abstract ER -