TY  - JOUR
AU  - Stephen Knight
AU  - Ronald Dixon
AU  - Ronald Jones
AU  - Eric Lin
AU  - Ndubuisi Orji
AU  - Richard Silver
AU  - Andras Vladar
AU  - Wen-Li Wu
C2  - Journal De Physique Iii
DA  - 2006-10-01 00:10:00
LA  - en
M1  - 7
PB  - Journal De Physique Iii
PY  - 2006
TI  - Advanced Metrology Needs for Nanoelectronics Lithography
ER  -