TY  - JOUR
AU  - Theodore Vorburger
AU  - John Dagata
AU  - G. Wilkening
AU  - K Iizuka
C2  - Annals CIRP
DA  - 1997-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 47(2)
PB  - Annals CIRP
PY  - 1997
TI  - Industrial Uses of STM and AFM
ER  -