TY  - JOUR
AU  - A. Rasmussen
AU  - Michael Gaitan
AU  - Laurie Locascio
AU  - Mona Zaghloul
C2  - Journal of Microelectromechanical Systems
DA  - 2001-06-01
LA  - en
M1  - 10
PB  - Journal of Microelectromechanical Systems
PY  - 2001
TI  - Fabrication Techniques to Realize CMOS-Compatible Microfluidic Microchannels
ER  -