TY  - JOUR
AU  - Safak Sayan
AU  - Nhan Nguyen
AU  - James Ehrstein
AU  - James Chambers
AU  - Mark Visokay
AU  - Manuel Quevedo-Lopez
AU  - Luigi Colombo
AU  - T Yoder
AU  - Igor Levin
AU  - Daniel Fischer
AU  - M Paunescu
AU  - Ozgur Celik
AU  - Eric Garfunkel
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2005-11-22
LA  - en
M1  - 87
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2005
TI  - Effect of Nitrogen on Band Alignment in HfSiON Gate Dielectrics
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=32000
ER  -