TY - JOUR AU - Safak Sayan AU - Nhan Nguyen AU - James Ehrstein AU - Tom Emge AU - Eric Garfunkel AU - Mark Croft AU - X Zhao AU - David Vanderbilt AU - Ira Levin AU - Evgeni Gusev AU - Hyunjung Kim C2 - Applied Physics Letters DA - 2005-11-17 LA - en M1 - 86 PB - Applied Physics Letters PY - 2005 TI - Structural, Electronic, and Dielectric Properties of Ultrathin Zirconia Films on Silicon UR - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=32146 ER -