TY  - JOUR
AU  - Joseph Woicik
AU  - D. Giubertoni
AU  - G. Pepponi
AU  - S. Gennaro
AU  - M. Bersani
AU  - M.
AU  - S.
AU  - M. Kah
AU  - K.
AU  - R. Doherty
AU  - M.
AU  - F. Meirer
AU  - C. Streli
AU  - P. Pianetta
C2  - Journal of Vacuum Science and Technology
DA  - 2010-05-04
LA  - en
M1  - 28
PB  - Journal of Vacuum Science and Technology
PY  - 2010
TI  - Deactivation of Sub-Melt Laser Annealed Arsenic Ultra Shallow Junctions in Silicon During Subsequent Thermal Treatment
ER  -