TY  - JOUR
AU  - Petr Cizmar
AU  - Andras Vladar
AU  - Bin Ming
AU  - Michael Postek
C2  - Scanning
DA  - 2008-07-30
LA  - en
M1  - 30
PB  - Scanning
PY  - 2008
TI  - Simulated SEM Images for Resolution Measurement
ER  -