TY - JOUR AU - Stephen Hsu AU - P McGuiggan AU - J Zhang AU - Y Wang AU - F Yin AU - Y Yeh AU - Richard Gates C2 - NATO Conference Proceedings DA - 2001-01-01 LA - en M1 - 10 PB - NATO Conference Proceedings PY - 2001 TI - Scaling Issues in the Measurement of Monolayer Films ER -