TY  - CONF
AU  - James Potzick
AU  - Ronald Dixson
AU  - Richard Quintanilha
AU  - Michael Stocker
AU  - Andras Vladar
AU  - Egbert Buhr
AU  - Bernd Bodermann
AU  - Wolfgang Hassler-Grohne
AU  - Harald Bosse
AU  - C.G. Frase
C2  - Proceedings SPIE Photomask 2008 (BACUS), Monterey, CA
DA  - 2008-10-17
LA  - en
PB  - Proceedings SPIE Photomask 2008 (BACUS), Monterey, CA
PY  - 2008
TI  - International photomask linewidth comparison by NIST and PTB
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=824713
ER  -