TY  - CONF
AU  - Ronald Dixson
AU  - Ndubuisi Orji
AU  - Joseph Fu
AU  - Thomas Renegar
AU  - Xiaoyu Zheng
AU  - Theodore Vorburger
AU  - Albert Hilton
AU  - Marc Cangemi
AU  - Lei Chen
AU  - Michael Hernandez
AU  - Russell Hajdaj
AU  - Michael Bishop
AU  - Aaron Cordes
C2  - SPIE Proceedings Vol. 7272, San Jose, CA
DA  - 2009-04-12
LA  - en
M1  - 7272
PB  - SPIE Proceedings Vol. 7272, San Jose, CA
PY  - 2009
TI  - Reference Metrology in a Research Fab: The NIST Clean Calibrations Thrust
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=902187
ER  -