TY - JOUR AU - Pavel Kabos AU - Thomas Wallis AU - H Hubner AU - I. Humer AU - M. Hochleitner AU - M. Fenner AU - M. Moertelmaier AU - C. Rankl AU - Atif Imtiaz AU - H. Tanbakuchi AU - P. Hinterdorfer AU - J. Smoliner AU - Joseph Kopanski AU - F. Kienberger C2 - Review of Scientific Instruments DA - 2012-01-03 LA - en M1 - 111 PB - Review of Scientific Instruments PY - 2012 TI - Calibrated nanoscale dopant profiling using a scanning microwave microscope. UR - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=908761 ER -