TY  - JOUR
AU  - James Maslar
AU  - William Kimes
AU  - Brent Sperling
C2  - ECS Transactions
DA  - 2011-10-14
LA  - en
M1  - 41
PB  - ECS Transactions
PY  - 2011
TI  - In Situ Gas Phase Diagnostics for Titanium Nitride Atomic Layer Deposition
ER  -