TY  - JOUR
AU  - Stephen Semancik
AU  - Richard Cavicchi
AU  - Douglas Meier
AU  - C Taylor
AU  - N Savage
AU  - M Wheeler
C2  - International Chemical Sensor Workshop
DA  - 2003-03-13
LA  - en
PB  - International Chemical Sensor Workshop
PY  - 2003
TI  - Temperature-Controlled MEMS Chemical Microsensors
ER  -