TY  - JOUR
AU  - Richard Cavicchi
AU  - Stephen Semancik
AU  - R Walton
AU  - B Panchapakesan
AU  - Don DeVoe
AU  - M Aquino-Class
AU  - J Allen
AU  - John Suehle
C2  - Proceedings of SPIE
DA  - 1999-11-18
DO  - https://doi.org/10.1117/12.370293
LA  - en
M1  - 3857
PB  - Proceedings of SPIE
PY  - 1999
TI  - Microhotplate Gas Sensor Arrays
ER  -