TY  - JOUR
AU  - Ryna Marinenko
AU  - Shirley Turner
AU  - David Simons
AU  - Savelas Rabb
AU  - Rolf Zeisler
AU  - Lee Yu
AU  - Dale Newbury
AU  - Rick Paul
AU  - Nicholas Ritchie
AU  - Stefan Leigh
AU  - Michael Winchester
AU  - Lee Richter
AU  - Douglas Meier
AU  - Keana Scott
AU  - D Klinedinst
AU  - John Small
C2  - Microscopy and Microanalysis
DA  - 2010-02-01
LA  - en
M1  - 16
PB  - Microscopy and Microanalysis
PY  - 2010
TI  - Characterization of SiGe Films for use as a National Institute of Standards and Technology (NIST) Microanalysis Reference material (RM 8905)
ER  -