TY  - CONF
AU  - Bryan Barnes
AU  - Martin Sohn
AU  - Francois Goasmat
AU  - Hui Zhou
AU  - Richard Silver
AU  - Abraham Arceo
C2  - OSA Technical Digest, Alexandria, VA
DA  - 2013-06-24
LA  - en
PB  - OSA Technical Digest, Alexandria, VA
PY  - 2013
TI  - Harnessing 3D Scattered Optical Fields for sub-20 nm Defect Detection
ER  -