TY  - JOUR
AU  - Daniel Sunday
AU  - Florian Delachat
AU  - Ahmed Gharbi
AU  - Guillaume Freychet
AU  - Christopher Liman
AU  - Raluca Tiron
AU  - Regis Kline
C2  - Journal of Applied Crystallography
DA  - 2019-02-01
LA  - en
PB  - Journal of Applied Crystallography
PY  - 2019
TI  - X-ray Characterization of Contact Holes for Block Copolymer Lithography
ER  -