TY  - JOUR
AU  - Christian Haffner
AU  - Andreas Joerg
AU  - Michael Doderer
AU  - Daniel Chelladurai
AU  - Felix Mayor
AU  - Comsin
AU  - Yuriy Fedoryshyn
AU  - Mikael Mazur
AU  - Maurizio Burla
AU  - Henri Lezec
AU  - Vladimir Aksyuk
AU  - Juerg Leuthold
C2  - Science Magazine
DA  - 2019-11-15
DO  - https://doi.org/10.1126/science.aay8645
LA  - en
M1  - 366
PB  - Science Magazine
PY  - 2019
TI  - Nano-opto-electro-mechanical switches operated at CMOS-level voltages
ER  -