TY - JOUR AU - Jonathan Wyrick AU - Xiqiao Wang AU - Ranjit Kashid AU - Pradeep Namboodiri AU - Scott Schmucker AU - Joseph Hagmann AU - Keyi Liu AU - Michael Stewart AU - Curt Richter AU - Garnett Bryant AU - Richard Silver C2 - Advanced Functional Materials DA - 2019-08-14 DO - https://doi.org/10.1002/adfm.201903475 LA - en PB - Advanced Functional Materials PY - 2019 TI - Atom-by-Atom Fabrication of Single and Few Dopant Quantum Devices ER -