TY  - JOUR
AU  - Ndubuisi Orji
AU  - Mustafa Badaroglu
AU  - Bryan Barnes
AU  - Carlos Beitia
AU  - Benjamin Bunday
AU  - Umberto Celano
AU  - Regis Kline
AU  - Mark Neisser
AU  - Yaw Obeng
AU  - Andras Vladar
C2  - Nature Electronics
DA  - 2018-10-12
DO  - https://doi.org/10.1038/s41928-018-0150-9
LA  - en
M1  - 1
PB  - Nature Electronics
PY  - 2018
TI  - Metrology for the next generation of semiconductor devices
ER  -