TY - JOUR AU - Julia Scherschligt AU - James Fedchak AU - Zeeshan Ahmed AU - Daniel Barker AU - Kevin Douglass AU - Stephen Eckel AU - Edward Hanson AU - Jay Hendricks AU - Thomas Purdy AU - Jacob Ricker AU - Robinjeet Singh C2 - Journal of Vacuum Science & Technology A DA - 2018-06-20 DO - https://doi.org/10.1116/1.5033568 LA - en M1 - 36 PB - Journal of Vacuum Science & Technology A PY - 2018 TI - Quantum-based vacuum metrology at NIST ER -