TY  - JOUR
AU  - Norman Sanford
AU  - Paul Blanchard
AU  - Ryan White
AU  - Michael Vissers
AU  - Albert Davydov
AU  - D Diercks
AU  - David Pappas
C2  - Micron
DA  - 2016-12-21
LA  - en
PB  - Micron
PY  - 2016
TI  - Laser-assisted atom probe tomography of Ti/TiN films deposited on Si
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=920857
ER  -