TY - JOUR AU - Xiqiao Wang AU - Joseph Hagmann AU - Pradeep Namboodiri AU - Jonathan Wyrick AU - Kai Li AU - Roy Murray AU - Frederick Meisenkothen AU - Alline Myers AU - Michael Stewart AU - Richard Silver C2 - Nanoscale DA - 2018-01-26 DO - https://doi.org/10.1039/C7NR07777G LA - en PB - Nanoscale PY - 2018 TI - Quantifying Atom-scale Dopant Movement and Electrical Activation in Si:P Monolayers ER -