TY - JOUR AU - Jeffrey Shainline AU - Sonia Buckley AU - Nima Nader AU - Cale Gentry AU - Kevin Cossel AU - Milos Popovic AU - Nathan Newbury AU - Richard Mirin C2 - Applied Physics Letters DA - 2017-05-01 DO - https://doi.org/10.1364/OE.25.010322 LA - en M1 - 25 PB - Applied Physics Letters PY - 2017 TI - Room-temperature-deposited dielectrics and superconductors for integrated photonics ER -