TY  - CONF
AU  - Regis Kline
AU  - Daniel Sunday
AU  - Chengqing Wang
AU  - Wen-Li Wu
AU  - Charlie Settens
AU  - Bunday Benjamin
AU  - Brad Thiel
AU  - Matyi Richard
C2  - SPIE, San Jose, CA
DA  - 2013-04-08
LA  - en
PB  - SPIE, San Jose, CA
PY  - 2013
TI  - Critical Dimension small angel X-ray scattering measurements of FinFET and 3D memory structures
ER  -