TY  - SER
AU  - Frank DelRio
AU  - Martin Dunn
AU  - Maarten de
C2  - Springer Berlin Heidelberg, Heidelberg, 
DA  - 2012-08-09
DO  - https://doi.org/10.1007/978-3-642-25414-7_14
LA  - en
PB  - Springer Berlin Heidelberg, Heidelberg, 
PY  - 2012
TI  - Van der Waals and capillary adhesion of polycrystalline silicon micromachined surfaces
ER  -