TY  - GEN
AU  - Bojan Ilic
AU  - Krishna Balram
AU  - Daron Westly
AU  - Marcelo Davanco
AU  - Karen Grutter
AU  - 
AU  - 
AU  - Christopher Ray
AU  - 
AU  - Neal Bertrand
AU  - Samuel Stavis
AU  - Vladimir Aksyuk
AU  - James Liddle
AU  - Brian Bryce
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - 
AU  - Christopher Wallin
AU  - Ian Gilbert
AU  - Kristen Dill
AU  - Richard Kasica
AU  - Kartik Srinivasan
AU  - 
AU  - 
C2  - Handbook (NIST HB), National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD
DA  - 2016-10-19
DO  - https://doi.org/10.6028/NIST.HB.160
LA  - en
PB  - Handbook (NIST HB), National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD
PY  - 2016
TI  - Nanolithography Toolbox
ER  -