TY - JOUR AU - Seongshik Oh AU - Dustin Hite AU - Katarina Cicak AU - Kevin Osborn AU - Raymond Simmonds AU - Robert Mcdermott AU - Ken Cooper AU - Matthias Steffen AU - John Martinis AU - David Pappas C2 - Thin Solid Films DA - 2005-10-06 DO - https://doi.org/10.1016/j.tsf.2005.09.091 LA - en M1 - 496 PB - Thin Solid Films PY - 2005 TI - Epitaxial growth of rhenium with sputtering ER -