TY  - JOUR
AU  - Michael Vissers
AU  - Jiansong Gao
AU  - Jeffrey Kline
AU  - Martin Sandberg
AU  - Martin Weides
AU  - David Wisbey
AU  - David Pappas
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2012-09-21
DO  - https://doi.org/10.1016/j.tsf.2013.07.046
LA  - en
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2012
TI  - Characterization and In-situ Monitoring of Sub-stoichiometric Adjustable TC Titanium Nitride Growth
ER  -