TY  - JOUR
AU  - Ndubuisi Orji
AU  - Hiroshi Itoh
AU  - Chumei
AU  - Ronald Dixson
AU  - Sebastian Schmidt
AU  - Bernd Irmer
AU  - Peter Walecki
C2  - Ultramicroscopy
DA  - 2015-12-23
DO  - https://doi.org/10.1016/j.ultramic.2015.12.003
LA  - en
M1  - 162
PB  - Ultramicroscopy
PY  - 2015
TI  - Tip characterization method using multi-feature characterizer for CD-AFM
ER  -