TY - JOUR AU - Justin Shaw AU - Kathleen Hoogeboom-Pot AU - Jorge Hernandez-Charpak AU - Henry Kapteyn AU - Margaret Murnane AU - Damiano Nardi C2 - Applied Physics Letters DA - 2015-04-21 LA - en PB - Applied Physics Letters PY - 2015 TI - Nondestructive measurement of the evolution of layer-specific mechanical properties in sub-10nm bilayer films ER -