TY  - JOUR
AU  - V Tsai
AU  - S. Wang
AU  - E.
AU  - J Schneir
AU  - Ronald Dixson
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 1997-09-15
LA  - en
M1  - 71
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 1997
TI  - Conformal Oxides on Si Surfaces
ER  -