TY - CONF AU - Kreider, Kenneth AU - DeWitt, D AU - Tsai, Benjamin AU - Lovas, Francis AU - Allen, David C2 - Rapid and Thermal Processing VII Symposium DA - 1998-04-01 LA - en M1 - 525 PB - Rapid and Thermal Processing VII Symposium PY - 1998 TI - RTP Calibration Wafer Using Thin-Film Thermocouples ER -