TY  - CONF
AU  - M Silverstein
AU  - Barry Bauer
AU  - V. Lee
AU  - R Hedden
AU  - B Landes
AU  - J Lyons
AU  - B Kern
AU  - J Niu
AU  - T Kalantar
C2  - ULSI Technology
DA  - 2003-01-01
LA  - en
M1  - 25(1)
PB  - ULSI Technology
PY  - 2003
TI  - The Structural Evolution of Pore Formation in Low-K Dielectric Thin Films
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852139
ER  -