TY  - JOUR
AU  - Silverstein, M
AU  - Shach-Caplan, Michael
AU  - Bauer, Barry
AU  - Hedden, R
AU  - Lee, V.
AU  - Landes, B
C2  - Macromolecules
DA  - 2005-04-01
LA  - en
M1  - 38
PB  - Macromolecules
PY  - 2005
TI  - Nanopore Formation in a Polyphenylene Low-k Dielectric
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852467
ER  -