TY - JOUR AU - Silverstein, M AU - Shach-Caplan, Michael AU - Bauer, Barry AU - Hedden, R AU - Lee, V. AU - Landes, B C2 - Macromolecules DA - 2005-04-01 LA - en M1 - 38 PB - Macromolecules PY - 2005 TI - Nanopore Formation in a Polyphenylene Low-k Dielectric UR - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852467 ER -