TY  - JOUR
AU  - Chengqing Wang
AU  - J Roberts
AU  - Robert Bristol
AU  - B Bunday
AU  - Ronald Jones
AU  - Eric Lin
AU  - Wen-Li Wu
AU  - John Villarrubia
AU  - Kwang-Woo Choi
AU  - James Clarke
AU  - Bryan Rice
AU  - Michael Leeson
C2  - SPIE
DA  - 2007-01-01
LA  - en
M1  - 263
PB  - SPIE
PY  - 2007
TI  - Line Edge Roughness Characterization of Sub-50nm Structures Using CD-SAXS: Round-Robin Benchmark Results
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852720
ER  -