TY - JOUR AU - R Walton AU - Richard Cavicchi AU - Stephen Semancik AU - B Panchapakesan AU - Don DeVoe AU - M Aquino-Class AU - J Allen AU - John Suehle C2 - Proceedings of SPIE DA - 1999-01-01 LA - en PB - Proceedings of SPIE PY - 1999 TI - Solid State Gas Microsensors for Environmental and Industrial Monitoring ER -