TY  - JOUR
AU  - Zachary Levine
AU  - Steven Grantham
AU  - S Neogi
AU  - S Frigo
AU  - I McNulty
AU  - C Retsch
AU  - Ying-Ju Wang
AU  - Thomas Lucatorto
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 2001-01-01
LA  - en
M1  - 90
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 2001
TI  - Accurate pattern registration for integrated circuit tomography
ER  -