TY  - CONF
AU  - Shannon Hill
AU  - I Ermanoski
AU  - Steven Grantham
AU  - Charles Tarrio
AU  - Thomas Lucatorto
AU  - T. Madey
AU  - Sasa Bajt
AU  - M Chandhok
AU  - P Yan
AU  - Obert Wood
AU  - S Wurm
AU  - N Edwards
C2  - Emerging Lithographic Technologies X , San Jose, CA
DA  - 2006-01-01
LA  - en
M1  - S
PB  - Emerging Lithographic Technologies X , San Jose, CA
PY  - 2006
TI  - EUV testing of multilayer mirrors: critical issues
ER  -